ICS29.045 ot Wide Bandgap H80/84 WB 团体标准 T/IAWBS 015-2021 ssoclatic c nduct 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking 1oUu curve of Ga2O3 single crystal substrate K6010 宽禁带半导体技术创新联盟 2021-09-15发布 2021-09-22实施 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布 T/IAWBS015-2021 目录 前言 II 1范围- 2规范性引用文件. 3术语和定义. .1 4检测原理 .1 4.1晶体X射线衍射原理 ...1 4.2摇摆曲线测试原理 4.3晶体摇摆曲线半高宽 2 5仪器及校准 .2 5.1光路配置 2 5.2样品台 2 5.3仪器校准 3 6测试样品. 3 7干扰因素 3 8测试环境 444 3 9测试步骤. 10精密度. .4 11测试报告. .4 附录A oneAouU WB Bojouup8) 宽禁带半导体技术创新联盟 I T/IAWBS015-2021 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则部分：标准化文件的结构和起草规则》的 规定起草，并根据该文件进行样式修改. 请注意本文件中的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的贵 任. 本文件由中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟归口. 本文件起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，北京邮电大学，北京镓族科 技有限公司 本文件主要起草人：李培刚、郭道友、吴忠亮、陈旭、唐为华. 本文件为首次制定 NB 宽禁带半导体技术创新联盟 ...
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