ICS31.260 CCS L51 团 体 标准 T/JGXH005—2020 超快激光精密微纳加工设备 Ultrafast laser precision micro nano machining equipment 2020-12-30发布 2020-12-31实施 武汉激光学 会 武汉中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟 发布 T/JGXH005—2020 目次 前言 II 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4主要技术参数. 5技术要求 2 5.1使用条件 2 5.2加工质量. 2 5.3装配质量 5.4外观质量 2 5.5其他部件. .2 5.6主要参数 .3 5.7冷却系统 3 5.8运动控制系统. .3 6安全与防护 3 7几何精度检验 4 8检验方法 6 9检验规则. 6 9.1检验分类 6 9.2检验项目 9.3出厂规则 6 9.4型式检验 6 10标志、包装、运输与贮存 10.1标志 6 10.2包装 .6 .3运前6 10.4贮存 .7 11质量承诺 7 I ...
T/JGXH 005-2020 超快激光精密微纳加工设备.pdf
