GB/T 16601.4-2017 激光器和激光相关设备 激光损伤阈值测试方法 第4部分：检查、探测和测量.pdf

ICS31.260 L51 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T16601.4-2017 激光器和激光相关设备激光损伤阈值 测试方法第4部分：检查、探测和测量 Lasers and laser-related equipment-Test methods for laser-induced damage threshold-Part 4:Inspection detection and measurement (ISO/TR21254-4:2011 MOD) 2017-12-29发布 2018-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T 16601.4-2017 目 次 前言 I 引言 1范围 2规范性引用文件1 3术语和定义 4损伤探测方法 1 4.1概述 1 4.2损伤探测方法概要 1 4.3样品辐射探测 2 4.3.1散射探测 2 4.3.2等离子体和热辐射探测 4 4.3.3荧光探测 ..4 4.4反射率/透射率变化的探测和成像方法 ..5 4.4.1反射率/透射率变化的在线探测 5 4.4.2在线显微镜法 .6 4.5光热探测 4.5.1概述 7 4.5.2光热偏折和表面热透镜 7 4.5.3蜃景效应 8 4.6瞬态压力感知 9 5激光测试后的检查方法 10 5.1概述 10 5.2诺马斯基显微镜法 10 5.3显微成像比较仪法11 5.4激光扫描显微镜法 12 5.5 测绘技术 12 5.6电子显微镜法 14 5.7原子力显微镜法 14 5.8共焦显微镜法15 参考文献 .17 GB/T16601.4—2017 前言 GB/T16601《激光器和激光相关设备激光损伤阈值测试方法》，分为以下4个部分： —第1部分：定义和总则； —第2部分：阈值确定； —第3部分：激光功率（能量）承受能力确信； —第4部分：检查、探测和测量. 本部分为GB/T16601的第4部分. 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本部分使用重新起草法修改采用ISO/TR21254-4:2011《激光器和激光相关设备激光损伤阈值 测试方法第4部分：检查、探测和测量》. 本部分与ISO/TR21254-4:2011的技术性差异及其原因如下： —关于规范性引用文件，本部分做了具有技术性差异的调整，以适应我国的技术条件，调整的情 况集中反映在第2章“规范性引用文件”中，具体调整如下： 用修改采用国际标准的GB/T15313一2008代替了ISO11145; 用修改采用国际标准的GB/T16601.1一2017代替了ISO21254-1; 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本部分由中国兵器工业集团公司提出. 本部分由全国光学和光子学标准化技术委员会(SAC/TC103)归口. 本部分起草单位：国营第五三○八厂、中国兵器工业标准化研究所、西南技术物理研究所. 本部分主要起草人：崔莹、陈亚华、魏晓羽、熊波、李炜娜、李开华、叶大华、涂建军. I GB/T 16601.4-2017 引言 激光损伤阈值的探测程序通常需要用到对于表面检查、损伤探测较为灵敏的技术.在典型的探测 方案中，每个样品都要在测试前用显微方法进行检查，以评估其表面质量及疵病级数.对1损伤测试 时，在对样品辐照过程中可应用多种在线监测方案. 这些方法的实例包括样品测试区域散射光的探测、样品等离子体辐射的采集或是光热探测方案. 在大多数情况下，探测系统直接与激光源相连，以在发生损伤后迅速中断对样品的激光辐照.这样可以 避免对样品造成灾难性的损伤，并能够精确地测定损伤最初发生时的激光脉冲数.而且在连续测试过 程中，可对此损伤状态的直接信息进行处理，以确定后续测试激光能量的最佳值，减小探测的不确定度. 出于同样的理由，在1对1损伤测试设备中也经常采用基于直接成像和在线图像处理的复杂探测方案. 对样品进行激光脉冲辐照后，使用合适的检查技术识别损伤点并获取产生损伤的机理信息.为了得到 准确的损伤阈值，对测试点的检查是非常必要的，因为这是对损伤状态最终的、也是最敏感的评估. 本部分介绍了在损伤测试前后光学表面的检查技术以及集成在探测设备中的损伤探测技术.本部 分所描述的损伤探测方法是经过实践检验并经常应用于探测设备的损伤测试解决方案实例...