ICS77.150.99 H68 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1123-2016 铂蒸发料 Evaporated platinum material 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T1123—2016 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口. 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院. 本标准主要起草人：张巧霞、张涛、王兴权、向磊、万小勇、贺昕、张玉利、王越、王永辉、贾存锋. I YS/T1123-2016 铂蒸发料 1范围 本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单 (或合同)内容. 本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T1419一2004海绵铂 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T15077一2008贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 3要求 3.1产品分类 3.1.1产品按照化学成分分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号. 3.1.2产品主要分为片状、柱状，如图1所示.产品形状、定义及供货状态应符合表1的要求，需方有 其他要求时由供需双方协商解决. B L A a)片状 b)柱状 说明： A—长度； L—长度； B一宽度； D一直径. C——厚度； 图1铂蒸发料示意图 表1铂蒸发料分类 形状 定义 供货状态 片状 厚度为0.5mm~5mm 长度为5mm~20mm 宽度为5mm~20mm的片材 加工态 柱状 直径为2mm~8mm 长度为3mm~10mm的丝线材 1 ...
YS/T 1123-2016 铂蒸发料.pdf
