ICS29.045 CCS L90 T/NXCL 宁夏材料研究学会团体标准 T/NXCL28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚 Synthetic quartz crucible for semiconductor grade monocrystalline silicon growth 2024－2－6发布 2024-2-6实施 宁夏材料研究学会 发布
T/NXCL28-2024 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。
本文件由宁夏材料研究学会提出。
本文件由宁夏材料研究学会归口。
本文件起草单位：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁 夏大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏旭樱新能源科技有限公司。
本文件主要起草人：李长苏、熊欢、何玉鹏、陈荣贵、王建军、史海贝、闫素婷、陈金莲、马万保、 马荣天、王黎光、芮阳、李海波、盛旺、田宝春。
T/NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚 1范围 本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、 检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。
本文件适用于合成石英砂（成分：二氧化硅）为内层原料，采用电弧熔融法工艺生产，应用于直拉 法半导体级单晶硅生长的石英坩埚。
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。
其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本 文件。
GB/T2828.1一2012计数抽样检测程序第一部分：按接受质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计 划 GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 JC/T2205石英玻璃术语 3术语和定义 JC/T2205界定的以及下列术语及定义适用于本文件。
3. 1 白斑vapor spots 坩埚内壁本体的白色斑点，是粘附于堆埚内表面部分熔融的砂粉块或坩埚夹层未融化的石英砂。
3. 2 透明层厚度bubble depletionlayerthickness 透明的气泡耗尽层的厚度。
4规格尺寸 4.1石英坩埚外形及表示 石英坩埚的外形示意图见图1。
T/NXCL 28-2024 说明： 1-一石英坩埚透明层； 2 - 一一石英坩埚不透明层； d 石英坩埚外径； h 石英坩埚高度； r 石英坩埚弯弧半径； R -石英坩埚半径； t1 石英坩埚直壁厚度； 石英坩埚弯弧厚度； t3 石英坩埚底部厚度。
图1石英坩埚的外形示意图 4.2石英坩埚规格 按石英坩埚外径不同分为三类：d≤610mm、610mm710mm。
具体尺寸由供需双方确定。
5技术要求 5.1原料 制作合成石英坩埚的外层原料主要为纯度大于99.99%的天然石英砂，内层原料为纯度大于 99.999%的合成石英砂。
5.2尺寸偏差 石英坩埚的尺寸偏差应符合表1的规定。
表1尺寸偏差要求 单位：mm 石英坩埚 直壁壁厚 弯弧壁厚 底部厚度 弧度间隙 外径偏差 圆度偏差 偏差 偏差 偏差 高度偏差 外径尺寸 r R d≤610 ±1.5 2 ±1.5 ±1.5 ±1.0 ±2.0 ≤3.5 ≤3.5 d>610 ±2.0 2 ±2.0 ±3.0 ±1.5 ±2.0 ≤5.0 ≤5.0 2
T/NXCL 28-2024 5.3透明层厚度 石英坩埚的透明层厚度应大于等于对应部位壁厚的五分之一，小于等于对应部位壁厚的百分之七 十。
5.4外观质量 石英坩埚的外观质量应符合表2的规定，或由供需双方商定提供。
表2外观质量要求 要求 缺陷类型 d≤610mm 610 mm710 mm 裂缝 不允许有裂缝 划伤 不允许有深度超过0.25mm，长度超过150mm的划伤存在 附着物 不允许有附着物存在 凹痕或凸起 不允许有直径超过20mm，深度超过1mm的无光泽的凹痕或凸起存在 内表面 在内表面上不允许有结晶颗粒（失透）白斑 >13.0 mm 不允许 不允许 不允许 白斑 壁内 6.0 mm3.0 mm 不允许 不允许 不允许 2.5 mm<≤3.0 mm 不允许 ≤2个 ≤2个 2.0 mm<≤2.5 mm ≤1个 ≤4个 ≤4个 杂质点 1.5 mm<≤2.0 mm ≤2个 ≤6个 ≤8个 壁内 1.0 mm<≤1.5 mm ≤6个 ≤10个 ≤10个 0.5 mm<≤ 1.0 m...
