T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统.pdf

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ICS35.240.01 CCS L70 团 体 标 准 T/QGCML3970—2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统 Intelligent detection and analysis system of metal dust in semiconductor workshop 2024-03-28发布 2024-04-11实施 全国城市工业品贸易中心联合会 发布 T/QGCML3970—2024 目 次 前言. . II 1范围. ..1 2规范性引用文件1 3术语和定义1 4基本要求. .1 5运行环境及功能. 2 6功能模块 . . 2 7运行测试.... 7 I T/QGCML3970—2024 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国城市工业品贸易中心联合会提出并归口. 本文件起草单位:凌凯电子科技(湖北)有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有 限公司. 本文件主要起草人:张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋. II T/QGCML3970—2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统 1范围 本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、 模块功能、运行测试. 本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文件, 仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本 文件. GB/T20270信息安全技术网络基础安全技术要求 GB/T20988信息安全技术信息系统灾难恢复规范 GB/T28035软件系统验收规范 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 3.1 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统intelligent detection and analysis system of metal dust in semiconductor workshop 采用图像识别技术,实时监测车间金属粉尘的扩散情况,并在预设值到达时自动触发报警通知工作 人员及时作出处理,同时支持数据分析和报告生成,让车间生产管理更加科学化、精细化,能够对采集 到的金属粉尘数据进行分析和处理,通过算法和模型识别潜在的危险和异常情况的系统软件. 4基本要求 4.1一般要求 4.1.1系统建设应遵循整体设计、统筹建设,优化服务,统一标准、安全可靠的原则. 4.1.2系统中涉及涉密数据时,应符合国家和行业保密管理的规定. 4.1.3系统应通过验收,系统验收应符合本文件和GB/T28035的有关规定. 4.1.4系统应及时进行日常管理维护、软件维护、数据维护、运行环境维护等. 4.1.5系统运行环境应符合国家信息安全保密管理的规定,平台应对用户实行统一身份认证,实现分 权分域管理. 4.1.6系统的密码使用和管理应符合国家密码管理的规定. 4.2信息安全 应符合GB/T20270、GB/T20988的相关要求. 4.3可靠性 4.3.1系统有可靠的备份机制: 一一定期自动备份; 一一自定义制定内容备份. 4.3.2支持审计日志功能: 一一对用户、时间、事件进行记录; 一一分析记录并形成报表; 1 T/QGCML3970—2024 一一提供设计日志保护. 5运行环境及功能 5.1运行环境 平台运行的环境参数如表1所示. 表1运行环境参数 版本号 V1.0 软件分类 应用软件 开发硬件环境 CPU:Intel Core i7-10700K 内存:32GDDR4 硬盘:1TB 运行的硬件环境 运行内存RAM:16GB 机身存储:512 GB SSD 分辨率:1920*1080 开发软件的操作系统 Windows10企业版spl64位操作系统 软件开发环境 JDK 软件的运行平台 Windows 软件运行支撑环境 Windows 编程语言 HTML Java Java Script 源程序量 39109 5.2主要功能 5.2.1系统能够对采集到的金属粉尘数据进行分析和处理,通过算法和模型识别潜在的危险和异常情 况. 5.2.2主要功能包括: 一一传感器管理; 一一可视化界面; 一一数据采集和存储: 一一实时监测和警报: 一一数据分析和算法: 一一远程监控和控制: 一一用户权限管理; 一一自适应性和学习能力等. 5.3技术特点 —大数据软件; 一一人工智能软件. 5.4面向领域 面向半导体行业,解决了金属粉尘对车间生产的严重影响,提高了企业生产的效...

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