JJF （皖） 安徽省地方计量技术规范 JJF（皖）146-2023 白光干涉轮廓仪校准规范 Calibration Specification for White Light Interference Profiler 2023-01-09发布 2023-03-01实施 安徽省市场监督管理局发布
JJF（皖）146-2023 白光干涉轮廓仪校准规范 Calibration Specification for White Light JJF（皖）146-2023 Interference Profiler 归口单位：安徽省几何量计量技术委员会 主要起草单位：安徽省计量科学研究院 安徽省长江计量所 参加起草单位：深圳市中图仪器股份有限公司 中国计量大学 合肥一煊检测技术有限公司 中乾格致精密测量技术（杭州）有限公司 本规范委托安徽省几何量计量技术委员会解释
JJF（皖）146-2023 本规范主要起草人： 丁晨（安徽省计量科学研究院） 童树之（安徽省长江计量所） 邢献军（安徽省计量科学研究院） 石（安徽省长江计量所） 蒋加平（安徽省长江计量所） 参加起草人： 刘见桥（深圳市中图仪器股份有限公司） 程银宝（中国计量大学） 魏超（合肥一煊检测技术有限公司） 霍洪彬（中乾格致精密测量技术（杭州）有限公司）
JJF（皖）146-2023 目录 引言.. II 1范围. 2引用文件 3术语 3.1 台阶高度， 3.2 线间隔 4 概述 N 4.1 用途， 2 4.2 构造. 2 4.3 原理. N 5 计量特性 5.1 垂直（Z）方向示值误差 4 5.2 垂直（Z）方向示值重复性 5.3 水平（X、Y）方向示值误差. 4 5.4 水平（X、Y）方向示值重复性 t 5.5 表面粗糙度（Ra）示值误差.. 4 6校准条件. t 6.1 环境条件. 6.2 测量标准及其他设备. .4 7 校准项目和校准方法， 7.1 垂直（Z）方向示值误差 4 7.2 垂直（Z）方向示值重复性 6 7.3 水平（X、Y）方向示值误差 .6 7.4 水平（X、Y）方向示值重复性 7.5 表面粗糙度（Ra）示值误差.. 7 8校准结果的表达， .8
JJF（皖）146--2023 9复校时间间隔 附录A垂直（Z）方向示值误差校准结果的测量不确定度评定 附录B校准证书内容及内页格式 13...
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