JJF (沪苏浙皖） 沪苏浙皖地方计量校准规范 JJF（皖）98-2020 微纳米线间隔标准样板校准规范 Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards 2020-10-22发布 2020-11-15实施 上海市市场监督管理局 江苏省市场监督管理局 发布 浙江省市场监督管理局 安徽省市场监督管理局
JJF（皖）98-2020 微纳米线间隔标准样板 校准规范 JJF(皖）98-2020 Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards 归口单位：上海市市场监督管理局 江苏省市场监督管理局 浙江省市场监督管理局 安徽省市场监督管理局 主要起草单位：上海市计量测试技术研究院 同济大学 参加起草单位：中国计量科学研究院 本规范由上海市计量测试技术研究院负责解释
JJF（皖）98-2020 本规范主要起草人： 傅云霞（上海市计量测试技术研究院） 程鑫彬（同济大学） 雷李华（上海市计量测试技术研究院） 参加起草人： 高思田（中国计量科学研究院） 魏佳斯（上海市计量测试技术研究院）
JJF（皖）98-2020 目录 目录.. 引言.. .II 1范围... 2引用文献. 3术语.. 3.1微纳米线间隔.. 3.2扫描探针显微镜， 3.3计量型扫描探针显微镜 3.4重心间距. 4概述.. 2 5计量特性.. 5.1平均线间隔.. 5.2二维线间隔的正交性. 5.3线间隔均匀性. 3 6校准条件... 3 6.1环境条件.. 6.2测量标准及其他设备. 7校准项目和校准方法.. 3 7.1平均线间隔... 3 7.2二维栅格线的正交角度. 7.3线间隔均匀性. 5 8校准结果的表达. 6 9复校时间间隔... 6 附录A校准证书内容 附录B校准证书（内页）格式 .8 附录C微纳米线间隔标准样板校准结果的测量不确定度评定 .9 附录D微纳米线间隔标准样板扫描角度的确定方法 13
JJF（皖）98-2020 引言 JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JF1001-2011《通用计量 术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范 制定工作的基础性系列计量技术法规. 本规范为首次制定....
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