JJF（鄂） 110-2024 晶圆材料电阻特性测试系统校准规范（片上标准电阻法）.pdf

JJF 湖北省地方计量技术规范 JJF（鄂)110-2024 晶圆材料电阻特性测试系统校准规范 （片上标准电阻法） Calibration Specification for Wafer Material Resistance Characteristic Testing Equipment (On-Wafer Reference Resistor Method) 2024-05-14发布 2024-09-01实施 湖北省市场监督管理局 发布
JJF（鄂）110--2024 晶圆材料电阻特性测试系 统校准规范 JJF（鄂）110--2024 （片上标准电阻法） Calibration SpecificationforWafer Material Resistance Characteristic Testing Equipment (On-Wafer Reference Resistor Method) 归口单位：湖北省市场监督管理局 主要起草单位：中国船舶集团有限公司第七O九研究所 本规范委托中国船舶集团有限公司第七O九研究所负责解释
JJF（鄂）110-2024 本规范主要起草人： 周厚平（中国船舶集团有限公司第七O九研究所） 胡勇（中国船舶集团有限公司第七O九研究所） 李轩冕（中国船舶集团有限公司第七O九研究所） 张明虎（中国船舶集团有限公司第七O九研究所）
JJF（鄂）110-2024 目 录 引言. (II) 1范围... (1) 2引用文件， （1) 3术语. （1) 3.1晶圆材料电阻特性测试系统 （1) 3.2片上标准电阻. （1) 4概述 （1) 5计量特性 （2） 6校准条件.. (2） 6.1环境条件. (2) 6.2测量标准及其他设备， （2） 7校准项目和校准方法 (3) 7.1校准项目， (3) 7.2校准方法.. (3) 8校准结果表达.. (3) 9复校时间间隔. (4) 附录A... (5) 附录B. （7) 附录C. (8)
JJF（鄂）110-2024 引言 本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JIF1001-2011《通 用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制. 本规范为首次发布. ⅡI...