JJF 湖北省地方计量技术规范 JJF（鄂）111-2024 晶圆测试系统校准规范 Calibration Specification for Wafer Test System 2024-05-14发布 2024-09-01实施 湖北省市场监督管理局发布
JJF（鄂）111-2024 晶圆测试系统系统 JJF（鄂）111-2024 CalibrationSpecificationforWafer TestSystem 归口单位：湖北省市场监督管理局 主要起草单位：中国船舶集团有限公司第七O九研究所 武汉大学 本规范委托中国船舶集团有限公司第七O九研究所负责解释
JJF（鄂）111-2024 本规范主要起草人： 薄涛（中国船舶集团有限公司第七O九研究所） 张骋（中国船舶集团有限公司第七O九研究所） 刘倩（中国船舶集团有限公司第七O九研究所） 王珩（中国船舶集团有限公司第七O九研究所） 梁康（武汉大学）
JJF（鄂）111-2024 目录 引 言 (II) 1.范围 (1) 2 引用文件 (1) 3概述 (1) 3.1 用途 (1) 3.2 原理 （1) 3.3 结构 (1) 计量特性 (1) 4.1电压输出， （1) 4.2电流输出 (2） 4.3电压测量 (2) 4.4电流测量 (2) 4.5位移， (2） 5校准条件 (2) 5.1环境条件. (2) 5.2校准用设备， (2) 6校准项目和校准方法 (3) 6.1校准项目. (3) 6.2校准方法 (3) 7校准结果的处理 （7) 8校准周期. (7) 附录A校准结果的测量不确定度评定 (8) 附录B校准记录格式 (13)
JJF（鄂）111-2024 引言 本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JIF1001-2011《通 用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制. 本规范为首次发布....
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