中华人民共和国 计量器具检定规程 接触式干涉仪 JJG 101-81 接触式干涉仪检定规程 JJG0181 北京计量印副厂印刷 新华书店北京发行新文行 各地新华书店 开本85×1161/3 即张1/2 字款11平字 印旗10001-25000 1183年4月第二次甲期 国家计量总局 1981年12月第一版 1121 北京 宽读.11元
接触式干涉仪检定规程 JJG 101-81 Verification Reguletion of Contact Type Interferometer 代替规（G）长-32-65 本检定规程由上海市标准计量局组织报批，经国家计量总局于 1981年4月29日批准，自1982年1月1日起施行. 归口单位：中国计量科学研究院 起草单位： 上海市计量技术研究所 主要起草人： 月方德 本规程技术条文由起草单位负责期释，
JG101-81 共13页第1页 接触式干涉仪检定规程 目 录 本规程适用于新制的、修理后和使用中的接的式干涉仅的检定. 一、概述 (1) 一、概述 二、检定项目和检定工具 （2) 接触式干涉仪是应用光波干涉原理，采用比较法测量长度的仪 三、检定要求和检定方法 （2) 器，主要用以检定尺寸小于150mm的量块，以及用作几何尺寸的精密 四、检定结果的处理 (13) 测量和高精度定位，仅器外形如图1所示，光学系统如图2所示， 图1 1-灯票：2一光管；3-隔热屏：4-臂架；5一工作台6一工作台升降 螺丝；7一工作台网紧想丝：8一底座
JJG 101-81 JG 101-81 共13页第3页 共13页第2页 表1 序 松定类 男I 号 定项目 主投定工具 K 1 外 观 2 各部分担互作用 1 平国工作的平度 109mm2级不品 平工作台的可调性 m不面组 5mm不行不 5 杆轻向受力对录拍的 径向加力工具 6 智细移动的监线院 1当冰值仪、五镇、 反射统 帮工作台的平运度 smm开2级平品、 401级平品 8 赤工作台中间药的高 出度 打量块 图2 作路工作台与测登轴线 15mm平行平品、8mm 的宜度 3形测、三外 1一照明灯，2一聚光镜；3一千涉滤光片；4一分光镜：5一补世镜 10 精助工作台的平面院和 17mm1级样直尺、干 6一平面反射镜：7一乡考说；8-物锁；9一则皮尺；10-日院 泰面光结度 沙显微镜 11 精助工作合负重时对示 刻度尺的分度值（可调的）为：0.2；0.10.05um， 体的影响 刻度尺刻度范围为：±50个分度， 12 轮助工作台与带培工作合 球目工作合的组对位置 15mm1级样尺、5 可测量最大长度为：150mm， 13 球前工作台的平加度 imm开循2级平晶 二、检定项目和检定工具 14 易工作台提头的高出度 开质盐换 15 平涉带的成保质和调整 1仅器的检定项目和主要检定工具列于表1. 的可即性 16 润量杆移动范 0.5mm量快成害尺 三、检定要求和检定方法 " 17 乐值变化 2仅器室的温变应为20±1℃，检定示值误差时室内的湿度变化 18 超量力及其监围 社码和河力赖置 19 2等叠块 每小时不得超过0.3℃， 2 干涉滤光片的补线 分光光度计 3被检仪器在仪器室内平衡温度的时润不少于48小时：标准器 21 平面高细的平面度 6mm1级晶 具在仪器室中平街温度时间不少于6小时，
共13页第4页 JJG 101-81 JJG 10181 共13页第5页 续表1 5.1.5工作台升降轴四紧时，示值变化不应超过0.5um， 定类别 5.1.6当因紧光管和披叉的紧固螺丝时，干涉带的位置不应有明 序 检定项日 出页经定工具 显的变化， 号 的 中 .5.2检定方法：试验， 22 平面淘图的工作变日与 专用卧标，1元学测 " 6平面工作台的平面度 套孔轴线的正值况 6.1要求：平面度不应超过0.6um（不允许图）， 河相工作表的中心统 与套孔轴线的风验度 专用款都轴、工具微筑 " 6.2检定方法：用直径为100mm的2级平品以技术光波干涉法 行手品的平面度和平 进行检定， 24 行度 4mm级平品 7平面工作台的可调性 进：表巾“”表示应险定；-”表示可不检定. 7.1要求：平面工作台应能方便地调整至与直径为8mm的平面 4外观 测相相平行，其平行度不应大于0.3um， 4.1要求： 7.2检定方法：将平行平品研合在平面工作台中央，使测帽与平 4.1.1在仪器的各工作面上不应有锈蚀、碰伤、目力易见的划底 行平品相接触，调整工作台的升降螺丝...
JJG 101-1981 接触式干涉仪.pdf
