JJG 101-2004 接触式干涉仪检定规程.pdf

工作台,干涉仪,其他规范
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JJG 中华人民共和国国家计量检定规程 JJG101-2004 接触式干涉仪 Contact-type Interferometers 2004-09-21发布 2005-03-21实施 国家质量监督检验检疫总局发布
JJG 101-2004 接触式干涉仪检定规程 JJG101-2004 Verification Regulation of 代替JJG101-1981 Contact-type Interferometers 本规程经国家质量监督检验检疫总局于2004年09月21日批准,并自 2005年03月21日起施行. 归口单位:全国几何量长度计量技术委员会 起草单位:上海市计量测试技术研究院 本规程委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
JG101-2004 本规程起草人: 殷德华 (上海市计量测试技术研究院) 张鸿顺 (上海市计量测试技术研究院)
JG 101-2004 目录 (1) 2 引用文献 (1) 3 概述. (1) 4计量性能要求. (2) 4.1干涉滤光片的特性 (2) 4.2平面工作台、带筋工作台、球筋工作台的平面度 (2) 4.3 带筋工作台中间筋、球筋工作台测头的高出度 (2) 4.4 平面工作台的可调性 (2) 4.5 带筋工作台与测量轴线的垂直度 (2) 4.6 工作台工作面的粗糙度.. (2) 4.7 带筋工作台、球筋工作台与辅助工作台的相对位置 (3) 4.8 测量力及其调整范围. (3) 4.9 测量杆径向受力时的示值变化 (3) 4.10 干涉带的成像质量和调整的可靠性 (3) 4.11 干涉带的对称性 (3) 4.12测量重复性 ........ (3) 4.13 仪器的示值误差 (3) 4.14平行平晶的平面度和平行度 (3) 5通用技术要求 (3) 5.1外观及各部分相互作用, (3) 5.2标识. (4) 6计量器具控制 (4) 6.1 检定条件 (4) 6.2 检定项目. (4) 6.3 检定方法 (5) 6.4检定结果的处理 (8) 6.5检定周期. (8) 附录A测帽的技术要求及检定方法 (9) 附录B主要配套检定工具及其技术要求 .(10) 附录C检定证书及检定结果通知书内页格式 ........ (12)
接触式干涉仪检定规程 1范围 本规程适用于接触式干涉仪的首次检定、后续检定和使用中检验. 2引用文献 本规程引用下列文献: JF1001-1998通用计量术语及定义 JF1059-1999测量不确定度评定与表示 JB/T8233-1999立式接触式干涉仪 JB/T9342-1999光学计量仪器用测帽 使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本. 3概述 接触式干涉仪是应用光波干涉原理,采用比较法测量长度的仪器.主要用于检定长 度不大于150mm的量块和其他工件的精密测量. 仪器外形如图1所示. 5 8 图1 1一光源:2-光管;3-隔热屏:4-臂架:5-工作台; 6一工作台升降螺丝:7一工作台紫固螺丝:8一庭座 仪器光学系统如图2所示. 刻度尺的分度值(可调):0.2um,0.1gm,0.05m 刻度尺刻度范围:±50分度...

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