JJG 331-1994 激光干涉比长仪检定规程.pdf

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JJG 中华人民共和国国家计量检定规程 JJG 331-1994 激光干涉比长仪 Laser Interference Comparator 1994~07-12发布 1995-01-01实施 国家技术监督局发布
661-IEE5ff 激光干涉比长仪检定规程 JJG 331-1994 Verification Regulation of 代替JG331-1983 Laser Interference Comparator 本检定规程经国家技术监督局于1994年07月12日批准,并自1995 年01月01日起施行. 归口单位:中国计量科学研究院 起草单位:中国计量科学研究院 本规程技术条文由起草单位负资解释
JG 3311994 本规程主要起草人: 蒋坝 (中国计量科学研究院) 参加起草人: 王黎菁 (中国计量科学研究院) 汪德宝 (中国计量科学研究院)
6611E Df 目 概述 (1) 二 检定项目和检定条件 (1) 三 检定要求和检定方法 (2) 检定结果的处理 (6) 附录1激光器、测疆装置及折射率测量装置的检定要求 (7) 附录2测量环境下基冲当量Q,的计算实例 (8) 限录3各种温度的和蒸气压表 (9)
JG 331-1994 激光干涉比长仪检定规程 本规程适用于新制造的、使用中和修理后的激光干涉比长仅的检定. 概 述 激光干涉比长仪(以下简称比长仪)是用激光波长直楼检定线纹尺的工作基准类仪 器.它主要用于检定长度至1000mm的一、二等标准金属线纹尺;一、二等标准玻璃 线纹尺,以及不确定度优于一等标准金属尺的基准尺. 检定长度小于1000mm的激光干涉比长仅其被检项目与要求可参照本规程进行. 比长仅的准确度可按线纹尺检定结果的总不确定度(置信水平0.99)分为两类: (A) U = (0.06 0.1L) μm (B) U= (0.10.1L) μm 式中:L-被测长度,m 比长仅主要由He-Ne激光器、干涉仅、机械主体、光电显激镜、温度测量装置与 数据处理装置(计算机)等七个部分组成. 二 检定项目和检定条件 比长仅的检定项目和主要检定条件如表1所示. 表1 投定项日 主要检定条件 检定 别 新制的 修差的 使用中 1 外我 日测 2 豫光平行光的均匀性 3 干涉条收约对比度及输出售号的质量 纸屏、二醇示波器 4 工作台运动直线度 0.2自准直仪 测量光束与运动方向的一致性 专用检具 6 工作台运动速度均匀性 额率计 7 光电呈微锁 平面、自准直仅、金 黑尺、民、矿水泡 8 测量重发性 金属尺、玻现尺 9 比长仪的理确度 般尺、石类尺、 尺 :表中表示检定,“表示可不检宽....

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