JJG 371-2005 量块光波干涉仪检定规程.pdf

JJG 中华人民共和国国家计量检定规程 JJG371-2005 量块光波干涉仪 Gauge Block Interferometers 2005-09-05发布 2006-03-05实施 国家质量监督检验检疫总局发布
JJG 3712005 量块光波干涉仪检定规程 JJG371-2005 VerificationRegulationof 代替JJG371-1992 JJG 770-1992 Gauge BlockInterferometers 本规程经国家质量监督检验检疫总局2005年9月5日批准，并自2006 年3月5日起施行. 归口单位： 全国几何量长度计量技术委员会 起草单位：中国计量科学研究院 本规程委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
JJG 3712005 本规程主要起草人： 刘香斌 （中国计量科学研究院） 参加起草人： 王雁 （中国计量科学研究院） 党爱华 （中国计量科学研究院） 吴月艳 （中国计量科学研究院）
JJG 371-2005 目录 1范围 (1) 2引用文献 (1) 3概述 （1） 4计量性能要求 (1) 4.1光波波长的特性 (1) 4.2 量块温度测量仅器的示值误差 (1) 4.3 空气折射率测量仪器的示值误差 (1) 4.4 平品平面度 (1） 4.5 测量重复性 (2) 4.6 仪器示值误差 (2) 5通用技术要求 (2) 5.1外观 (2） 5.2各部分相互作用 (2) 6计量器具控制 (2) 6.1 检定条件 (2) 6.2 检定项目 (2) 6.3 检定方法 (3) 6.4 检定结果的处理 （4) 6.5 检定周期 （4) 附录A柯氏干涉仪中几个主要部分的检定方法 (5） 附录B关于温度和空气折射率测量的注意事项 (6) 附录C检定证书和检定结果通知书（内页）格式 （7）
JJG 371-2005 量块光波干涉仪检定规程 1范围 本规程适用于测量范围从0.5mm~1000mm的激光量块干涉仪及用于高等级量块测 量的量块光波干涉仪的首次检定、后续检定和使用中的检验. 2引用文献 本规程引用下列文献： JJF1001-1998通用计量术语及定义 JJF1059-1999测量不确定度评定与表示 JJF1094-2002测量仪器特性评定技术规范 GB/T6093一2001几何量技术规范（CPS）长度标准量块 JJG28-2000平晶检定规程 JJG353-1994兰姆凹陷稳频He-Ne激光器检定规程 JJG875-1994数字压力计检定规程 JG993一2004电动通风干湿表检定规程 JG364-1994表面温度计检定规程 JG635一1999一氧化碳、二氧化碳红外线气体分析器检定规程 使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本. 3概述 量块光波干涉仪是指以激光或其他光波波长为标准，用光波干涉原理测量量块长度 的仪器.仅器按测量方法分为小数重合法和脉冲计数法，按测量范围分为（0.5~100） mm和（100~1000）mm.常见的有激光量块干涉仪、柯氏光波干涉仪、海尔格一瓦兹 光波干涉仪、双参考镜一米光波干涉仪、接触式激光量块干涉仪等. 4计直性能要求 4.1光波波长的特性 量块光波干涉仪所用光波真空波长的相对不确定度应满足表1的要求.使用多个波 长时，至少有一个波长的相对不确定度应满足表1的要求. 4.2量块温度测量仪器的示值误差 量块温度测量仪器的示值误差应满足表1的要求. 4.3空气折射率测量仪器的示值误差 空气折射率测量仪器的示值误差应满足表1的要求. 4.4平晶平面度 采用研合方式测量时使用的平晶，其工作面的平面度不大于0.03gum. 1...