JJG 中华人民共和国国家计量检定规程 JJG 482004 硅单晶电阻率标准样片 Standard Slice of Single Crystal Silicon Resistivity 2004-09-21发布 2005-03-21实施 国家质量监督检验检疫总局发布
JJG 46-2004 硅单晶电阻率标准样片 检定规程 JJG 48-2004 代巷JJG48-1990 Verification Regulation of Standard Slice of Single Crystal Silicon Resistivity 本规程经国家质量监督检验检疫总局于2004年09月21日批准并自 2005年03月21日施行. 归口单位：全国无线电计量技术委员会 主要起草单位：中国计量科学研究院 参加起草单位：广州半导体材科研究所 本规程委托全国无线电计量技术委员会负责解释
JJG 482004 本规程主要起草人： 鲁效明 （中国计量科学研究院） 参加起草人： 谢鸿波 （广州半导体材料研究所）
JJG 482004 （1） 2签述 （1) 3计量性能要求... 3.1标准样片的电阻率的测量范围 （1) 3.2标准样片的标称值.. (1) 3.3标准样片应具备的参数及性能要求 -（1) 4通用技术要求.. （2) 5计量签具控制.. - (3) 5.1检定件.. (3) 5.2检定项目及检定方法 -(5) 5.3检定结果的处理. （7) 5.4检定周期 -(8) 附录A硅单品电限率标准样片温度修正系数表 -* ( 9 ) 附录B硅单品电阻率标准样片的清洗方法 （10) 附录C硅单品电阻率标准样片检定账始记录 - (11) 附录D硅单品电阻率标准样片检定证书及检定结果通知书内页格式 (15) 附录G不间直径的硅单晶电图率标准样片距边缘6mm处的修正系数表（F）-（16）
JJG 482904 硅单晶电阻率标准样片检定规程 1范园 本规程适用于硅单品电期率标准样片的首次检定、后续检定和使用中的检验. 2述 硅单品电阻率标准样片（以下算称标准样片）是用高纯多晶硅，经过单品制备，再 经中子嫂变掺杂等多种工艺制造的，具有一定儿何尺寸的实物标准.出不确定度已知的 标准装置，对该实物标准的电尾率及其它指标给于标定，使用时以标准样片为准，对相 关参数进行量值传通. 3计量性能要求 3.1标准样片的电阻率的测量范围 电阻率的测量范图0.0050cm-5000-cm 3.2标准样片的标称值 标准样片的标称值应存合下述19个规格中的一个，见表1： 表1标准样片的标称值 D-en 电阻率标称值 0.005 0.01 0.02 0.05 0.1 0.2 0.5 1 2 5 10 25 75 180 250 500 1000 2000 5000 3.3标准样片应具备的参数及性能要求 3.3.1标难样片，除具有电阻率标称值和实际值外，还应有下列参数或数票：等电类 型、掺杂元素、直径值、厚度值和使用要求. 3.3.2对不同级别的标票样片，各项指标的要求见表2. 表1标准样片的各项指标 合格图标 样片级别 国家强标准律片 一级标感样片 二级标准样片 项目 (40 - 75) = 1%mm (40 ~ 75) ± 1%em (25 100) ± 2% mrs 度 Fx1.0m W≤1.0mm F≤1.0mm 标彬首偏型0.01D-em~ 500Gcm 5% 10% ±15% 中心点电阻率重复性（2） 0.3% 0.4% 0.8% 轻向电阻率不均匀度 <3% C4% ≤5%...
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