JJG 765-1992 平面标准器检定规程.pdf

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JJG 中华人民共和国国家计量检定规程 JJG 765-1992 平面标准器 Flatnes Standard 1992-02-15发布 1992-08-01实施 国家技术监督局发有
JJG 7651992 平面标准器检定规程 Verification Regulation of JJG 765-1992 Flatness Standard 本检定规程经国家技术监督局于1992年02月15日批准,并自1992 年08月01日起施行. 归口单位:航空航天工业部三四研究所 起草单位:航空航天工业部三四研究所 本规程技术条文由起草单位负责解释
JJG 765-1992 本规程主要起草人: 苏铁志 (航空航天工业部三O四研究所) 参加起草人: 陈奇清 (航空航天工业部三○四研究所)
JJG765-1992 目 (1) 检定项目和检定条件 (1) 三技术要求和检定方法 (2) 四检定结果的处理和检定周期 (7) 附录四面互检时计算检定方法误差实例(平面标准器总不确定度) ( 8)
JJG 765-1992 平面标准器检定规程 本提视适用于建标后作量值传通的平面标准器的周期检定. 一概述 平面标准器包括标准平面等频干涉仅、150mm平面标准平晶组及210mm长平晶 组. 平面等候干涉仅是用来检测平面平品、长平品、研面平尺平面度的一种高精度平 面测量光学仅器,其光学原理如图1. 10 11 M1 1一元图(销光付):2一小孔光编:3一造镜:4一年区针镇: 5上下晶:6-国滩变8提;7下平晶:8半通中反镜; 9特境:10日镜分年折:11日镇 标准平晶组是用来传通工作平晶用的高精度平面标准, 长平晶组是用来传递碳离面平尺平面度的标准. 二检定项目和检定条件 1平面标准器受检项目和主要检定工具列于表1(主要影响平面标准器测量准确皮的 基本技术指标). 2检定平面标准器时室内温度为(20±5)℃.检定标准平晶时应放在检定室内时间不 少于30b,放置在检定仅器内等湿时间不少于2h.平晶标准器的综合读差检定时室 变化在24h内应不大于1℃,在1h的变化应不大于0.1℃. 1...

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