ICS13.030.10 CCS Z00 T/FJAS 团 体 标 准 T/FJAS 003-2024 湿电子化学品再生铝蚀刻液 wet chemicals regeneration aluminum Etch 2024-06-30发布 2024-06-30实施 福建省标准化协会 发布
T/FJAS 003-2024 目次 1范围. 2规范性引用文件 3术语和定义 4技术要求， 5试验方法， 6检验规则. 7标志、包装、运输、贮存
T/FJAS 003-2024 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.
本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由福建中融科技有限公司提出.
本文件由福建省标准化协会归口.
本文件起草单位：福建中融科技有限公司、福建钰融科技有限公司、福建省化工建设工程质量技术 服务中心、福建省石油和化工行业协会.
本文件主要起草人：林秋玉、崔文涛、陈金亮、郭行然、沈军、赵俊飞、史郭涛、韩永霖、何碧芳、 唐宪春、王慧芳、郭伟.
II
T/FJAS 003-2024 湿电子化学品再生铝蚀刻液 1范围 本文件规定了再生铝蚀刻液的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存.
本文件适用于以湿电子化学品行业含铝蚀刻液回收液为原料，经过提纯的铝蚀刻液再生产品（以下 简称产品），主要用于显示面板制造行业等.
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成本文件必不可少的条款.
其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本 文件.
GB190危险货物包装标志 GB/T601化学试剂标准滴定溶液配制 GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T603化学试剂试验方法中所使用制剂及制品的制备 GB/T6678化工产品采样总则 GB/T6680液体化工产品采样通则 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T9728化学试剂硫酸盐测定通用方法 GB/T9729化学试剂氯化物测定通用方法 GB15603危险化学品仓库储存通则 SJ/T11510液晶显示器用铝腐蚀液 SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件.
3. 1 湿电子化学品wetchemicals 湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺（主要包括湿法刻蚀、清洗、 显影、剥离等环节）中使用的各种液体化工材料.
3. 2 铝蚀刻液aluminumetch 是指一种利用酸类腐蚀剂刻蚀铝及铝合金金属表面的液体材料，主要成分包括磷酸、硝酸、醋酸、 水等.
T/FJAS 003-2024 回收液liquidrecycling 主要成分是磷酸、硝酸、醋酸、水及少量的金属杂质等.
4技术要求 产品技术要求应符合表1的规定： 表1技术要求 项目 指标 外观 无色透明粘柯状液体 磷酸v% 60. 0±20. 0 酯酸v% 12.0±8.0 硝酸v 7.0±5.0 颗税 (≥0. 5um) pcs/ml. ≤100 颗粒 (≥1um） pcs/ml. ≤10 氯化物（C1）mg/kg 5 硫酸盐(S0.）ng/kg 5 锂（Li）μg/kg 200 钠（Na）ug/kg 200 钙（Ca）μg/kg 500 络（Cr）μg/kg 200 锰（Mn）μg/kg 200 铁（Fe）μg/kg 500 结（Co）μg/kg 200 镍（Ni）μg/kg 200 钢（Ca）μg/kg 200 锡（Sr）μg/kg 200 锋（Zn）μg/kg 200 银（Ag）μg/kg 200 锡（Cd）μg/kg 200 铅（Pb）μg/kg 200 注：由供需双方商定，含量允许偏差值满足合同规定.
5试验方法 5.1一般规定 2