ICS 77. 040 YS CCS H 17 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 Determinationofimpuritycontentinhexachlorodisilane- Inductivelycoupledplasmamassspectrometry 2023-04-21发布 2023-11-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/T1601-2023 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.
本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)、全国半导体设备和材料标准化技术委员 会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2)提出并归口.
本文件起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业（青海)股份有限公 司、江苏中能硅业科技发展有限公司、四川永祥多晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司.
本文件主要起草人：严大洲、万烨、赵雄、曹俊英、徐家扬、刘凤华、刘允许、邱艳梅、刘国霞、魏东亮、 王彬、甘居富、李寿琴、于生海.
YS/T1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法 警示一一使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验.
本文件并未指出可能的安全问 题.
使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件.
1范围 本文件规定了六氯乙硅烷中钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钻、镍、铜、锌、、砷、铅、钡、锂、锶、 、钼等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法.
本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01ng/g～50ng/g.
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.
其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本 文件.
GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T6678化工产品采样总则 GB/T6680液体化工产品采样通则 GB/T11446.1-2013电子级水 GB/T25915.1一2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级 3术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义.
4方法原理 六氯乙硅烷在加热条件下，去除大量基体，杂质残留于坩埚中，用硝酸溶解，制备成待测样品.
样品 在载气的作用下进入高频等离子体炬焰中，在高温下被充分电离，产生的离子经过离子采集装置后进人 质量分离器，质量分离器根据离子的质荷比进行分离，根据待测元素信号响应值测定含量.
5干扰因素 触，采样结束立即加盖密封，建议采用密闭采样.
5.2样品取完应及时测定，不宜放置太久，以免影响测定结果.
5.3双原子离子、多原子离子、基体效应、背景噪声、元素间的干扰、交叉污染和仪器信号漂移等因素会 1