JJF 2160-2024 激光共聚焦显微镜校准规范.pdf

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JJF 中华人民共和国国家计量技术规范 JJF2160-2024 激光共聚焦显微镜校准规范 Calibration Specification for Laser Confocal Microscopes 2024-10-19发布 2025-04-19实施 国家市场监督管理总局发布
JJF 21602024 激光共聚焦显微镜校准规范 Calibration Specification for JJF 2160-2024 Laser Confocal Microscopes 归口单位:全国几何量长度计量技术委员会 主要起草单位:中国计量科学研究院 哈尔滨工业大学 参加起草单位:南京市计量监督检测院 本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
JJF 21602024 本规范主要起草人: 施玉书(中国计量科学研究院) 刘俭(哈尔滨工业大学) 张树(中国计量科学研究院) 参加起草人: 王珉(南京市计量监督检测院) 刘辰光(哈尔滨工业大学) 皮磊(中国计量科学研究院) 郭鑫(南京市计量监督检测院)
JJF 2160-2024 目 引言 (Ⅱ) 范围.. (1) 引用文件 (1) 概述 (1) 4计量特性 (2) 4.1水平方向长度测量误差 (2) 4. 2 :垂直方向长度测量误差 (2) 4. 3 水平方向长度测量重复性 (2) 4. 4 垂直方向长度测量重复性 (2) 4. 5 水平方向正交误差 (2) 畸变.... (2) 4. 7 最大可测倾角 (2) 4. 8 水平方向拼接误差 (2) 4.9垂直方向拼接误差 (2) 4.10载物台定位误差 (2) 5校准条件. (3) 5.1环境条件 (3) 5.2校准项目和校准用标准器 (8) 6校准项目和校准方法 (4) 6.1水平方向长度测量误差 (4) 6.2垂直方向长度测量误差 (6) 6.3 水平方向长度测量重复性 (8) 6. 4 垂直方向长度测量重复性 (8) 6.5 水平方向正交误差 (8) 6. 6 6. 7 最大可测倾角 (10) 6. 8 水平方向拼接误差 .(11) 6.9垂直方向拼接误差 (11) 6.10载物台定位误差 (12) 7校准结果表达 (12) 8复校时间间隔.. (12) 附录A激光共聚焦显微镜长度测量误差的不确定度评定 (13) 附录B激光共聚焦显微镜校准证书(内页)格式
JJF 2160-2024 引 言 JF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与 表示》、JF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1094-2002《测量仪器特 性评定》共同构成支撑本规范制定的基础性系列规范.

本规范为首次发布.

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