JJF 国防军工计量技术规范 JJF（军工）14-2012 大深径比微小孔径测量装置校准规范 CalibrationSpecificationforMeasuringEquipmentofDiameter of Micro and SmallHolewithHighAspectRatio 2012-12-27发布 2013-04-01实施 国家国防科技工业局发布
JJF（军工）142012 大深径比微小孔径测量装置 校准规范 JJF（军工）14-2012 Calibration Specification forMeasuring Equipment of Diameter ofMicro and Small Hole with High Aspect Ratio 主要起草单位：国防科技工业长热力一级计量站 参加起草单位：哈尔滨工业大学
JJF（军工）14-2012 本规范主要起草人： 谭久彬（哈尔滨工业大学） 崔继文（哈尔滨工业大学） 梁雅军（国防科技工业长热力一级计量站） 缪寅宵（国防科技工业长热力一级计量站） 崔俊宁（哈尔滨工业大学） 刘柯（国防科技工业长热力一级计量站） 周谦（国防科技工业长热力一级计量站） 参加起草人： 谷卫华（国防科技工业第一计量测试研究中心） 朱小平（中国计量科学研究院）
JJF（军工）142012 目 录 1范围 2引用文件 术语和定义 概述 4.1 原理 4.2 构造 4.3用途 5计量特性 5.1X、Z轴运动的直线度 5.2X、Z轴运动的定位精度 5.3Y轴运动的分辨力 5.4光轴与X轴的平行度 5.5 微孔径测量结果的重复性 5.6 小孔径测量结果的重复性 5. 7 微孔径测量结果的不确定度 5. 8 小孔径测量误差 6校准条件 6.1环境条件 6.2校准用设备 7校准项目和校准方法 7.1校准项目 7.2校准方法 4 8校准结果的处理 8 9复校时间间隔 9 附录A大深径比微小孔径测量装置孔径测量结果不确定度评定示例 10 附录B校准证书内页格式 16
JJF（军工）14-2012 大深径比微小孔径测量装置校准规范 1范围 本规范适用于根据瞄准触发原理，采用激光干涉仪进行孔径测量，测量范围为 Φ0.1mm～Φ20mm的大深径比微小孔径测量装置的校准.
2引用文件 本规范引用了下列文件： JJF1059.1-2012测量不确定度评定与表示 GB/T11336-2004直线度误差检测 GB/T17421.2-2000机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位 精度的确定 GJB2715A-2009军事计量通用术语 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用 文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本规范.
3术语和定义 GJB2715A界定的及以下术语和定义适用于本规范.
3.1微小孔径测量装置measuringequipmentof diameter ofmicro and small hole 用于测量微小孔的直径而组合起来的全套测量器具和测量所需的辅助设备.
3.2瞄准触发aimingand triggering 传感器移动到测量过程所规定的指定位置时，发出“已瞄准”的信号，此信号 启动测量装置的相关测量机构和部件开始或结束工作的作用过程.
3.3瞄准触发测量measurementwithaimingand triggering 根据瞄准触发原理以确定量值为目的的一组操作.
3.4微小孔micro and small hole 微孔：直径小于Φlmm的孔.
小孔：直径不小于Φlmm且不大于Φ20mm的孔.
3.5大深径比high aspectratio 孔深度和直径的比值不小于5：1.
4概述 4.1原理 大深径比微小孔径测量装置是根据瞄准触发原理，应用激光干涉仪进行微小孔直径 的测量.
4.2构造 大深径比微小孔径测量装置（以下简称测量装置）主要由基座、导轨、激光干涉 1
