JJF 国防军工计量技术规范 JJF（军工）162-2017 网络分析仪在片测量系统校准规范 Calibration Specification for On-WaferNetwork AnalyzerMeasurementSystem 2017-12-27发布 2018-04-01实施 国家国防科技工业局发布
JJF（军工）162-2017 网络分析仪在片测量系统 校准规范 JJF（军工）162-2017 Calibration Specificationfor On-Wafer NetworkAnalyzer MeasurementSystem 主要起草单位：国防科技工业1312二级计量站 参加起草单位：国防科技工业第二计量测试研究中心 国防科技工业微电子元器件一级计量站
JJF（军工）162-2017 本规范主要起草人： 吴爱华（国防科技工业1312二级计量站） 杨春涛（国防科技工业第二计量测试研究中心） 陈婷（国防科技工业第二计量测试研究中心） 孙静（国防科技工业1312二级计量站） 王一帮（国防科技工业1312二级计量站） 刘晨（国防科技工业1312二级计量站） 栾鹏（国防科技工业1312二级计量站） 梁法国（国防科技工业1312二级计量站） 参加起草人： 股玉喆（国防科技工业微电子元器件一级计量站） 张旭勤（国防科技工业微电子元器件一级计量站）
JJF（军工）162-2017 目 录 1范围 概述 2.1 原理 2.2 构造 2.3 用途 3计量特性 3.1S模和S2模 3.2S2模和S2模（衰减量） 3.3S相位 2 4校准条件 2 4.1 环境条件 2 4.2 校准用设备 5校准项目和校准方法 2 5.1 校准项目 5.2校准方法 校准结果的处理 复校时间间隔 附录A校准记录格式 附录B测量不确定度评定示例
JF（军工）162-2017 网络分析仪在片测量系统校准规范 1范围 本校准规范适用于频率范围1GHz~40GHz网络分析仪在片测量系统的校准.
2概述 2.1原理 网络分析仪在片测量系统是实现在片S参数测试的测量系统，主要工作原理为：通 过在片校准件和相应的校准方法，将测量参考面由矢量网络分析仪的同轴或波导参考 面，平移到微波探针参考面，从而实现晶圆片上裸芯片器件的S参数测量.
2.2构造 网络分析仪在片测量系统主要由矢量网络分析仪、在片校准件、微波电缆、微波探 针和探针台等组成，如图1所示.
矢量网络分析仪 端口1 端口2 微波电缆 探针 探针 端口] 端口2 微波探针 微波探针 在片校准件 探针台 图1网络分析仪在片测量系统结构组成图 2.3用途 网络分析仪在片测量系统主要用于裸芯片器件的S参数测试，以改进器件的电路模 型、器件模型、材料生长、工艺加工、芯片封装等.
3计量特性 3.1S模和S模 频率范围：1GHz~40GHz： 测量范围：0~0.7，测量不确定度U=0.02~0.10(k=2).
3.2S模和S2模（衰减量） 频率范围：1GHz~40GHz; 测量范围：0dB~40dB，测量不确定度U=0.14dB~3.0dB（k=2).
