JJF 国防军工计量技术规范 JJF（军工）186-2018 氢质谱检漏仪校准规范 Calibration Specification ofHeliumMassSpectrometer LeakDetector 2018-11-08发布 2019-04-01实施 国家国防科技工业局发布
JJF（军工）186-2018 氨质谱检漏仪 校准规范 JJF（军工）186-2018 Calibration Specification of HeliumMass SpectrometerLeakDetector 起草单位：国防科技工业真空一级计量站
JJF（军工）1862018 本规范起草人： 赵澜 （国防科技工业真空一级计量站） 成永军 （国防科技工业真空一级计量站） 孙雯君 （国防科技工业真空一级计量站） 陈联 （国防科技工业真空一级计量站） 冯天佑 （国防科技工业真空一级计量站） 管保国 （国防科技工业真空一级计量站） 张瑞芳 （国防科技工业真空一级计量站） 孙冬花 （国防科技工业真空一级计量站） 郭美如 （国防科技工业真空一级计量站） 袁征难 （国防科技工业真空一级计量站） 马亚芳 （国防科技工业真空一级计量站） 高洁 （国防科技工业真空一级计量站）
JJF（军工）186-2018 目 录 1范围 2引用文件 3术语和定义 3.1 校准系数 4 概述， 4.1 原理 4.2 构造 4.3 用途， 5 计量特性 5.1 最小可检漏率 5.2 校准系数 ! 6 校准条件 6.1 环境条件 2 6.2 校准用设备.
6.3 校准用气体 7 校准项目和校准方法 7.1 校准项目 7.2 校准方法 8校准结果的处理 9 复校时间间隔， 附录A测量不确定度评定示例 附录B原始记录格式 13 附录C证书内页格式 14
JJF（军工）1862018 氨质谱检漏仪校准规范 1范围 本规范适用于漏率测量范围为（5×10l3~5×10）Pa-m/s的氮质谱检漏仪的校准.
2引用文件 本规范引用了下列文件： JJF1059.1测量不确定度评定与表示 GB/T3163 真空技术术语 GB/T4844纯氨、高纯氨和超纯氮 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范：凡是不注日期的引用文件， 其最新版本（包括的修改单）适用本规范.
3术语和定义 下列术语和定义适用于本规范.
3.1校准系数calibration coefficient 校准氮质谱检漏仪时标准流量值与氮质谱检漏仪对应漏率示值之比.
4概述 4.1原理 氮质谱检漏仪主要利用磁偏转的原理，将各种气体离子分离，通过收集示漏气体氮 气的离子流实现漏率的测量.
4.2构造 氮质谱检漏仪主要由离子源、分析器、接收器、真空系统、电子线路及其它电气部 分组成.
氮质谱检漏仪的构造及工作原理见图1.
高子源 分析器 接收器 电高气体分子 分离气体离子 收集复气离子 真空系统 电子线路 图1氮质谱检漏仪的构造及工作原理 4.3用途 氮质谱检漏仪主要用于测量气体通过孔隙或材料产生的泄漏漏率.
