JJF 国防军工计量技术规范 JJF（军工）189-2018 超大规模集成电路老炼测试系统校准规范 CalibrationSpecification ofVLSIBurn-InTestSystem 2018-11-08发布 2019-04-01实施 国家国防科技工业局发布
JJF（军工）1892018 超大规模集成电路老炼 测试系统校准规范 JJF（军工）189-2018 Calibration Specification of VLSI Burn-In TestSystem 主要起草单位：国防科技工业微电子一级计量站 参与起草单位：上海机电工程研究所
JJF（军工）189-2018 本规范起草人： 孙崇钧 （国防科技工业微电子一级计量站） 刘倩 （国防科技工业微电子一级计量站） 杨志文 （国防科技工业微电子一级计量站） 卞付国 （上海机电工程研究所） 刘冰 （国防科技工业微电子一级计量站） 韩亦乾 （国防科技工业微电子一级计量站） 倪珂 （国防科技工业微电子一级计量站）
JJF（军工）1892018 目 1 范围 2 引用文件 3概述 3.1 原理.
3.2 用途 2 4计量特性 2 4.1 老炼试验箱温度. 4.2 程控电源输出电压 2 4.3 程控电源负载调整率 2 4.4 数字通道直流输出电压 2 4.5 方波信号重复频率.. 4.6 精密测量单元输出电压 4.7 精密测量单元测量电压 4.8 精密测量单元输出电流 4.9 精密测量单元测量电流 4.10氮气含量. 5校准条件 环境条件.. 3 5.2 校准用设备， 6校准项目和校准方法 4 6.1 校准项目 4 6.2校准方法. 7校准结果的处理， 11 8复校时间间隔 11 附录A校准记录参考格式 12 附录B校准结果不确定度评定示例 16
JJF（军工）1892018 超大规模集成电路老炼测试系统校准规范 1范围 本规范适用于超大规模集成电路（VLSI，VeryLarge ScaleIntegration）老炼测试系 统（以下简称“老炼测试系统"）的校准.
2引用文件 本规范引用了下列文件： JJF1101-2003环境试验设备温度、湿度校准规范 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文 件，其最新版本（包括的修改单）适用本规范.
3概述 3.1原理 老炼测试系统主要由系统控制器、系统软件平台、老炼试验箱、数据处理子系统、 老炼测试子系统、程控电源子系统、温度控制子系统、气体检测子系统以及监控报警子 系统等组成.
其工作原理如图1所示.
老炼测试系统 数据 总线 老炼润试子系统 我了通道 控电子系线相教电 老炼试验箱 统 数据处理子系统 4 件平 制 温度控制子系统 气体检测子系统 老炼试验区 控警子系统 图1老炼测试系统工作原理示意图 老炼测试系统中系统控制器以及系统软件平台负责老炼测试程序形成与执行，发出 各类控制信号：老炼测试子系统由精密测量单元（PMU，PrecisionMeasurementUnit） 和数字通道组成，用于VLSI的功能和电性能参数测试，精密测量单元具有加压测流以 及加流测压两种工作模式，数字通道在老炼过程中提供测试信号和测试向量集：程控电 源子系统通常由程控电源组成，主要负责向器件提供老炼所需的工作电压：数据处理子 系统用于处理老炼测试子系统得到的测试数据：温度控制子系统控制老炼测试所需的温 度条件：气体检测子系统负责监控老炼试验箱内氮气含量；监控报警子系统负责监控系
