JJF 国防军工计量技术规范 JJF（军工）199-2018 微波谐振腔法介电常数测量系统校准规范 CalibrationSpecificationforDielectricConstant Measurement System by Resonant CavityMethod 2018-11-08发布 2019-04-01实施 国家国防科技工业局发布
JJF（军工）199-2018 微波谐振腔法介电常数 测量系统校准规范 JJF（军工）199-2018 CalibrationSpecificationforDielectric ConstantMeasurementSystem byResonant CavityMethod 主要起草单位：国防科技工业5116二级计量站 参加起草单位：国防科技工业第二计量测试研究中心 国防科技工业微电子元器件一级计量站 电子科技大学
JJF（军工）199-2018 本规范主要起草人： 王益 （国防科技工业5116二级计量站） 王建忠 （国防科技工业5116二级计量站） 张翠翠 （国防科技工业5116二级计量站） 参加起草人： 张娜 （国防科技工业第二计量测试研究中心） 李恩 （电子科技大学） 赵飞 （国防科技工业微电子元器件一级计量站） 郭晓东 （国防科技工业5116二级计量站） 张睿 （国防科技工业5116二级计量站）
JJF（军工）199-2018 目 录 1 范围 2 概述 2.1 原理 2.2 结构 2.3 分类和用途 N 3 计量特性 ! 4 校准条件， 4.1 环境条件 4.2 校准用设备.
5 校准项目和校准方法.
5.1 校准项目 5.2 校准前准备.
5.3 校准方法 校准结果的处理， 7复校时间间隔 附录A固体电介质标样尺寸选取方法 附录B原始记录格式 附录C测量不确定度评定示例
JJF （军工）1992018 微波谐振腔法介电常数测量系统校准规范 1范围 本规范适用于频率范围0.5GHz~30GHz的微波闭式谐振腔法介电常数测量系统和频 率范围2.0GHz~30GHz的微波开式谐振腔法介电常数测量系统的校准.
2概述 2.1原理 微波谐振腔法介电常数测量的原理是将介质试样置于一个封闭或开放式微波谐振 腔中，在外加电磁场激励下，介质试样与谐振腔共同作用形成具有特定电磁场分布的谐 振模式，根据该谐振模式下的谐振频率和品质因数与介质试样复介电常数之间的关系， 计算出介质试样的复介电常数.
2.2结构 常用的微波谐振腔法介电常数测量系统一般由网络分析仪、谐振腔和测量软件组 成，谐振腔的结构主要分为闭式和开式两种结构.
微波闭式谐振腔法测量系统的典型结构如图1所示.
微波闭式谐振腔主体是一个封 闭式的圆柱形腔体，外加介质支撑柱，耦合探针与耦合调节装置构成.
圆柱形腔体直径 一般为10mm至200mm，高度约为直径的二分之一.
介质试样放置于金属腔内的介质 支撑柱上，两根耦合探针用于激励和探测腔内电磁场，网络分析仪用于测量谐振频率和 品质因数，根据测量得到的谐振频率与品质因数，通过测量软件得出固体电介质试样的 介电常数.
介电常数测量装置 微波闭式谐振腔 腔体 精合调节 装置 合探针固体电介质试样 介质支撑柱 图1微波闭式谐振腔法介电常数测量系统典型结构 微波开式谐振腔法测量系统的典型结构如图2所示.
微波开式谐振腔主体是两个圆 片状的金属短路平板，外加耦合探针与耦合调节装置构成.
金属短路平板直径一般为
