JJF 国防军工计量技术规范 JJF（军工）201-2019 白光干涉轮廓仪校准规范 Calibration Specification forWhiteLight InterferenceProfiler 2019-12-20发布 2020-04-01实施 国家国防科技工业局发布
JJF（军工）201-2019 白光干涉轮廓仪 校准规范 JJF（军工）201-2019 CalibrationSpecification forWhite Light Interference Profiler 主要起草单位：国防科技工业第一计量测试研究中心 参加起草单位：国防科技工业1312二级计量站
JJF（军工）201-2019 本规范主要起草人： 朱振宇 （国防科技工业第一计量测试研究中心） 李强 （国防科技工业第一计量测试研究中心） 梁法国 （国防科技工业1312二级计量站） 韩志国 （国防科技工业1312二级计量站） 参加起草人： 李锁印 （国防科技工业1312二级计量站） 赵琳 （国防科技工业1312二级计量站） 任冬梅 （国防科技工业第一计量测试研究中心） 万宇 （国防科技工业第一计量测试研究中心）
JJF（军工）201-2019 目 1范围 2引用文件. 3术语和定义 4概述 4.1原理 4.2构造 4.3用途 5计量特性. 6校准条件.. 6.1环境条件 6.2校准用设备 7校准项目和校准方法 7.1校准项目 7.2校准方法. 8校准结果的处理 9复校时间间隔 附录A白光干涉轮廊仪示值误差测量不确定度评定示例 附录B白光干涉轮廓仪校准原始记录格式 14 附录C校准证书内页格式 16 国防军工
JJF（军工）201-2019 白光干涉轮廓仪校准规范 1范围 本规范适用于白光干涉轮廊仪的校准.
2引用文件 本规程引用了下列文件： JJG1001通用计量术语及定义 JF1059.1测量不确定度评定与表示 JJF（军工）111微尺度几何参数计量器具等级图 JJF（军工）129台阶仪校准规范 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范：凡是不注日期的引用文件， 其最新版本（包括的修改单）适用本规范.
3术语和定义 JJF1001、JF1059.1、JJF（军工）129界定的以及下列术语和定义适用于本规范.
3.1纳米级台阶高度Nano-Scale StepHeight 具有纳米级准确度和均匀性的凸台或凹槽，以具有台阶状表面几何结构形式表征，两平面间的 距离为纳米级台阶高度（以下简称台阶高度）， 3.2纳米级节距Nano-ScalePitch 具有纳米级准确度和均匀性的周期性刻线，以周期性刻线相邻几何结构中心间距表征，相邻刻 线中心间距为纳米级节距（以下简称节距）.
4概述 4.1原理 白光干涉轮廊仪属于表面形貌测量仪器，在纳米科学、材料科学等研究领域以及半导体、微电 子等行业中得到广泛应用.
国防军工 白光干涉测量原理如图1所示.
光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经 被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，当分光镜到被测 表面上某一点的距离等于从分光镜到参考镜的距离时，对应的两束干涉光的光程差为零，则引起干 涉的光强值达到最大值.
被测对象表面上各点由于深度不同所形成的干涉光强值不同，因此移动被 测对象或参考境可将被测对象表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化即可 实现表面三维形貌的测量，
