JJF 国防军工计量技术规范 JJF（军工）23-2012 （10-8~10-11）Pam/s真空标准 漏孔校准规范 Calibration Specification for(10-s~10-")Pam²/s Vacuum Reference Leak 2012-12-27发布 2013-04-01实施 国家国防科技工业局发布
JJF（军工）23-2012 (10-8~10-）Pam²/s真空 标准漏孔校准规范 JJF（军工）23-2012 CalibrationSpecificationfor （10-~10-)Pam²/sVacuum Reference Leak 起草单位：国防科技工业真空一级计量站
JJF（军工）23-2012 本规范起草人： 赵澜（国防科技工业真空一级计量站） 冯焱(国防科技工业真空一级计量站) 成永军（国防科技工业真空一级计量站） 张涤新（国防科技工业真空一级计量站） 张瑞芳（国防科技工业真空一级计量站） 李莉（国防科技工业真空一级计量站） 马亚芳（国防科技工业真空一级计量站） 刘珈彤（国防科技工业真空一级计量站） 管保国（国防科技工业真空一级计量站）
JJF（军工）23-2012 目 录 1范围 2引用文献 3术语和定义 概述 4. 1 原理 4.2 构造 4.3 分类 4.4用途 5计量特性 5.1漏率 6校准条件 6.1 环境条件 6.2 校准用气体 6.3 校准用设备 6. 3. 1 压力计 6. 3. 2 质谱计 6. 3. 3 流量计 2 6.3.4校准装置 7校准项目和校准方法 7.1校准项目 2 7.2校准方法 7.2.1校准步骤 7.2.2数据处理 8校准结果的处理 9复校时间间隔 附录A真空标准漏孔校准结果原始记录格式 附录B真空标准漏孔校准结果不确定度评定
JJF（军工）232012 （10-~10-）Pam/s真空标准漏孔校准规范 1范围 本规范适用于漏率范围为（1.0x10--1.0×10”）Pam/s的真空标准漏孔的校准.
2引用文献 本规范引用了下列文件： JJF1001通用计量术语及定义 JJF1059测量不确定度的表示与评定 GB/T3163真空技术术语 GB/T4844.1工业氮气 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文 件，其最新版本（包括的修改单）适用本规范.
3术语和定义 JJF1001，JJF1059，CB/T3163界定的及以下术语和定义适用于本规范： 真空标准漏孔vacuumreferenceleak 作为参考标准进行真空漏率量值传递的漏孔.
4概述 4.1原理 真空标准漏孔主要是在压力或浓度差的作用下，使气体从气室的一侧通过器壁的孔 洞、孔隙、渗透元件流出，从而提供稳定漏率的仪器.
4.2构造 真空标准漏孔一般由气室、漏孔元件、漏气阀、充气阀和连接件组成.
4.3分类 真空标准漏孔分为渗氮型真空标准漏孔和通道型真空标准漏孔等类型.
4.4用途 真空标准漏孔主要用于氮质谱检漏仪漏率的校准.
5计量特性 5.1漏率 漏率范围：（1.0×10-~1.0×10-）Pam/s；标准不确定度：20%.
6校准条件 6.1环境条件 a）环境温度：23℃±3℃，校准过程中温度波动不大于1°℃/h； b）相对湿度：不大于80%；
