JJF 中华人民共和国工业和信息化部 电子计量技术规范 JJF（电子）0052-2020 半导体工艺用定时器校准规范 Calibration Specification for SemiconductorProcess Timer 2020-12-09发布 2020-12-31实施 中华人民共和国工业和信息化部发布
JJF（电子）00522020 半导体工艺用定时器 校准规范 JJF（电子）0052-2020 Calibration Specification forSemiconductor Process Timer 归口单位：中国电子技术标准化研究院 主要起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 参加起草单位：中国电子科技集团公司第二十研究所 本规范技术条文委托起草单位负责解释 164
JJF（电子）0052-2020 本规范主要起草人： 张立飞（中国电子科技集团公司第十三研究所） 刘晨（中国电子科技集团公司第十三研究所） 吴爱华（中国电子科技集团公司第十三研究所） 参加起草人： 陆强（中国电子科技集团公司第二十研究所） 王一帮（中国电子科技集团公司第十三研究所） 孙静（中国电子科技集团公司第十三研究所） 165
JF（电子）0052-2020 目 录 引言 （167) 1范围 (168) 2概述 (168) 3计量特性 (168) 3.1电子型定时器 (168) 3.2机械型定时器 （168) 4校准条件 （169) 4.1环境条件 （169) 4.2校准用设备 （169) 5校准项目和校准方法 (169) 5.1外观及正常性检查 （169) 5.2校准方法 (169) 6校准结果表达 （170) 7复校时间间隔 （171) 附录A原始记录格式 （172) 附录B校准证书内页格式 （173) 附录C测量不确定度评定示例 (174) 166
JJF（电子）0052-2020 引 言 本规范依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则）、JF1059.1-2012《测量 不确定度评定与表示》编写.
本规范为首次发布.
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