JJG 国防军工计量检定规程 JJG（军工）190-2019 多功能半导体器件直流和低频参数 测试仪 DC andLowFrequencyParameters forMultifunctional SemiconductorDevicesTestEquipments 2019-12-20发布 2020-04-01实施 国家国防科技工业局发布
JJG（军工）190-2019 多功能半导体器件直流和 低频参数测试仪检定规程 VerificationRegulationof DCand Low JJG（军工）190-2019 FrequencyParametersforMultifunctional SemiconductorDevices TestEquipments 起草单位：国防科技工业微电子元器件一级计量站
JJG（军工）190-2019 本规程起草人： 张珊 （国防科技工业微电子元器件一级计量站） 刘冲 （国防科技工业微电子元器件一级计量站） 李洁 （国防科技工业微电子元器件一级计量站） 徐迎春 （国防科技工业微电子元器件一级计量站） 闻劲松 （国防科技工业微电子元器件一级计量站） 褚楚 （国防科技工业微电子元器件一级计量站）
JJG（军工）190-2019 目 1范围 2概述 3计量性能要求 3.1直流电阻. 3.2电压输出. 3.3电压测量 3.4电流输出 3.5电流测量. 3.6低频信号输出 2 3.7低频h参数 4通用技术要求 4.1外观和附件. 4.2工作正常性 2 5计量器具控制 5.1检定条件 5.2检定项目 5.3检定方法 t 5.4检定结果的处理 17 5.5检定周期. 17 附录A原始记录内页格式 18 附录B检定证书内页格式 22
JJG（军工）190-2019 多功能半导体器件直流和低频参数测试仪检定规程 1范围 本规程适用于多功能半导体器件直流和低频参数测试仪（以下简称测试仪）的首次检 定、后续检定和使用中检查.
2概述 测试仪用来测试半导体分立器件的直流和低频参数，一般由偏置电压源、偏置电流源、 电压测量单元、电流测量单元、低频信号源等组成，通常采用“加压测流”或“加流测 压”的方法对半导体分立器件的电阻、电压、电流等直流参数和低频参数进行测量，其主 要原理框图如图1所示.
多功能半导体器件直流和低频参数测试仪 计算机控制单元 偏置电压源 偏置电流源 电压测量 电流测量 单元 单元 低频信号源 测试夹具 图1测试仪原理框图 3计量性能要求 3.1直流电阻 a）范围：0.005Q~20GQ，最大允许误差：±（0.1%~1%）.
3.2电压输出 国防军工 a）直流电压：±（0.01V~10kv） 最大允许误差：±（0.1%~3%）： b）交流电压：±（0.1V~5000V）（f=50Hz），最大允许误差：±（1%~5%）.
3.3电压测量 a）直流电压：±（0.01V~10kV），最大允许误差：±（0.1%~3%）： b）交流电压：±（0.1V~5000V）（f50Hz），最大允许误差：±（1%~5%）.
3.4电流输出 a）直流电流：±（1nA~10A），最大允许误差：±（0.1%~1%）； b）单脉冲电流：±（1A~1200A）（脉冲宽度：250us~10ms），最大允许误差：±（0.5%~ 3%).
