JJG 国防军工计量检定规程 JJG（军工）90-2015 ITS9000系列超大规模集成电路测试系统 ITS9000SeriesVLSITestSystem 2015-03-12发布 2015-08-01实施 国家国防科技工业局发布
JJG（军工）902015 ITS9000系列超大规模集成 电路测试系统检定规程 JJG（军工）90-2015 代替JJG（船舶）23-1998 Verification Regulation of ITS9000 SeriesVLSI TestSystem 起草单位：国防科技工业微电子一级计量站
JJG（军工）90-2015 ITS9000系列超大规模集成电路测试系统检定规程 1范围 本规程适用于ITS9000的计量检定，确保其操作都在出厂时所规定的范围以内.
其他系统可参照使用.
2概述 ITS9000用于对TTL、MOS、ECL等工艺的CPU、存储器及外围电路等SSI、MSI、 LSI及VLSI集成电路的性能进行测试.
它由工作站、控制柜、高速柜、直流子系统、测试 头等部件组成.
3计量性能要求 3.1基本参量 表1基本参量 基本参量名 标准值 最大允许误差 V10 10V ±5mV V-10 -10V ±5mV V7 7V ±5mV V-2 -2V ±5mV R21 2MQ ±0.2% R22 640RΩ ±0.02% R 160RQ2 %70°0 R42 SR ±0.02% R 2RQ ±0.02% R20 100 ±0.02% R41 20 ±0.02% RM2-1 12RQ ±0.02% RM2-2 10RQ ±0.02% RM2-3 6.8R ±0.02% RM2-4 3.2RQ ±0.02% 测试时钟 16ns ±0.005ps 对称度△r 0ps ±200ps
