ICS 77.150.60 GB CCS H 62 中华人民共和国国家标准 GB/T 45130-2025 氧化锌铝靶材 Zinc-aluminum oxide target 2025-01-24发布 2025-08-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
GB/T 45130-2025 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.
本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国有色金属工业协会提出.
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.
本文件起草单位：先导电子科技股份有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、株洲火炬 安泰新材料有限公司、芜湖映日科技股份有限公司、成都中建材光电材料有限公司、深圳市中金岭南有 色金属股份有限公司部关冶炼厂、广东欧莱高新材料股份有限公司、河北恒博新材料科技股份有限公 司、福建阿石创新材料股份有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、上海大学、广东先导稀材股份有限 公司.
本文件主要起草人：余芳、童培云、朱费芳、杨平、蒋少英、曾墩风、周毅、蔡正明、李庆丰、陈文麟、 葛春桥、李喜峰、朱刘、高敏沂、左鸿毅、刘慧明、王志强、李佳宣、李鹏、骆胜磊、陈钦忠、李强、张建华、 张科、曾平生、师世龙、王凯凯、朱永峰.
GB/T 45130-2025 氧化锌铝靶材 1范围 包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容.
本文件适用于由ZnO和AlO粉末按照一定比例混合，以常压烧结工艺生产的氧化锌铝靶材，用 于薄膜太阳能电池镀膜和建筑节能玻璃镀膜.
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.
其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 本文件.
GB/T1551硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法 GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T13298金属显微组织检验方法 SL499钻孔应变法测量残余应力的标准测试方法 YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件.
3.1 表观密度apparent density 每单位体积物质的质量.
3.2 相对密度relative density 表观密度与理论密度的比值.
注：AZO靶材质量比m（ZnO）m（A1O )98 =2时，AZO靶材理论密度以5.57g/cm²计算.
4分类 AZO靶材按形状分为平面靶和管状靶；按ZnO和AlO 的质量比规定为1个牌号：AZO98.
