ICS 77.150.40 CCS H 62 中华人民共和国国家标准 GB/T44759-2024 高纯镍靶材 High purity nickel target 2024-10-26发布 2025-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
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GB/T44759-2024 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国有色金属工业协会提出.
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.
本文件起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、金川集团股份有限公司、有研亿金新材料有限 公司、上海同创普润新材料有限公司、南京达迈科技实业股份有限公司.
本文件主要起草人：姚力军、边逸军、廖培君、胡家彦、杨慧珍、王学泽、周友平、杨晓艳、 汤婷、吴东青、张亚东、朱孜毅、吴宇宁、干科军、钟成铭、黄引驰、时晓旭.
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GB/T44759-2024 高纯镍靶材 1范围 本文件规定了高纯镍靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随 行文件和订货单内容.
本文件适用于半导体行业用的高纯镍靶材.
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.
其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用 于本文件， GB/T1031产品儿何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T6394金属平均晶粒度测定方法 GB/T8651金属板材超声板波探伤方法 GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级 GB/T39159集成电路用高纯铜合金靶材 YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 YS/T1012高纯镍化学分析方法杂质元素含量的测定辉光放电质谱法 3术语和定义 GB/T39159界定的术语和定义适用于本文件.
4分类 4.1产品按外形分为圆形和方形，或由需方提供图纸.
4.2产品按化学成分分为Ni4N、Ni4N5、Ni5N三个牌号.
4.3产品按结构形式分为复合体靶材和单体靶材，结构示意图如图1所示.
a）复合体靶材 b) 单体靶材 标引序号说明： 1杞； 2背板.
图1靶材结构示意图 5技术要求 5.1化学成分 产品的化学成分应符合表1和表2的规定.
