ICS 31.260 GB CCS L 97 中华人民共和国国家标准 GB/T 43725-2024 直写成像式曝光设备 Direct writing imaging exposure equipment 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
GB/T 43725-2024 目次 前言 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4分类与结构 5技术要求 6测试方法 7检验规则 8标识、标志、包装、运输和贮存 12 9产品随机文件.
GB/T43725--2024 前言 本文件按照GB/T1.1-2020（标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
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本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口.
本文件起草单位：合肥芯基微电子装备股份有限公司、广州兴森快捷电路科技有限公司、安数省工 业和信息化研究院、深南电路股份有限公司、四创电子股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥 矽迈微电子科技有限公司、深圳市克洛诺斯科技有限公司、深圳拜波赫技术有限公司.
本文件主要起草人：何少锋、陈新、邱醒亚、乔书晓、沈桂珍、朱颖、陈黎阳、方林、曲鲁杰、许静平、 陈东、崔良端、陆培良、吴怡然、曹可慰、赵俊莎、李香滨、严孝年、鲁男、李娜、李照辉、吴新民.
