ICS 31.030 GB CCS L 90 中华人民共和国国家标准 GB/T43798-2024 平板显示阵列用正性光阻材料 测试方法 Test method of positive photoresist for manufacturing of flat panel display array 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
GB/T 43798-2024 目次 前言 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4测试条件 4.1环境条件 4.2试剂材料 4.3其他配套 5测试项目 5.1胶膜云纹 5.2曝光量 5.3曝光测试观察图形完整性 5.4关键尺寸（CD） 5.5残膜率 5.6固含量 5.7 液体颗粒计数 5.8粘度 10 5.9相对密度 11 5.10 水分质量分数 11 5.11 金属杂质含量 11 6试验报告 13
GB/T 43798-2024 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
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本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口.
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