ICS 77.040.30 CCS H 15 B 中华人民共和国国家标准 GB/T 43603.1-2023 镍铂靶材合金化学分析方法 第1部分：铂含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 Methods for chemical analysis of nickel-platinum target alloys- Part 1:Determination of platinum content-Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry 2023-12-28发布 2024-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
GB/T 43603.1-2023 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
本文件是GB/T43603（镍铂靶材合金化学分析方法3的第1部分.
GB/T43603已经发布了以下 部分： 一第1部分：铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法； 第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钻、铜、锌、锆、银、钯、锡、、铅、硅含量的测定电感耦合 等离子体质谱法： -第3部分：碳含量的测定高類红外检测法.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国有色金属工业协会提出.
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.
属股份有限公司、北京有色金属与稀土应用研究限公司、有研亿金新材料有限公司、国标（北京）检 验认证有限公司、紫金矿业集团股份有限公司、北矿检测技术股份有限公司、中铝郑州有色金属研究院 有限公司、大冶有色设计研究院有限公司、中国检验认证集团广西有限公司、紫金铜业有限公司、金川集 团股份有限公司， 本文件主要起草人：赵万春、李秋莹、闻明、朱武助、何姣、方海燕、杨晓滔、胡胆脂、许丽娟、马晓玉、 黄晓玲、胡梦桥、简莉婷、罗海霞、吴豫强、魏文、黄世明、傅晓琴、阮桂色、龙秀甲、曾静、廖彬玲、梁任佳、 邹积英、田志童.
GB/T 43603.1-2023 引言 镍铂靶材合金广泛应用于半导体工业，是保证半导体器件性能和发展半导体技术的关键材料，不同 铂含量的镍铂靶材合金具有特殊的组织和性能，在半导体制造工艺中发挥了重要作用，面镍铂靶材合金 的杂质成分直接关系镍铂靶材合金的溅射性能，因此镍铂靶材合金的化学成分分析显得尤为重要： GB/T43603根据检测对象和检测手段的不同，拟由三个部分构成.
一第1部分：铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法.
目的在于规定镍铂靶材合金 中铂含量测定的电感耦合等离子体原子发射光谱法及适用的测定范围.
一第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钻、铜、锌、锆、银、钯、锡、铅、硅含量的测定电感耦合等离 子体质谱法，目的在于规定镍铂靶材合金中镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钻、铜、锌、锆、银、钯、锡、 、铅、硅含量测定的电感耦合等离子体质谱法及适用的测定范围.
一第3部分：碳含量的测定高频红外检测法.
目的在于规定镍铂靶材合金中碳含量测定的高 频红外检测法及适用的测定范围.
上述各部分文件通过明确适用范围、规范试剂、材料、试验设备和步骤，并经过多家实验室反复试验 和验证给出精密度数据，增强了不同实验室之间数据的一致性和可比性，为检验镍铂靶材合金的品质建 立严谨、规范的标准化基础.
Ⅱ
GB/T 43603.1-2023 镍铂靶材合金化学分析方法 第1部分：铂含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 警示一一使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验，本文件并未指出可能的安全问 题，使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件.
1范围 本文件描述了镍铂靶材合金中铂含量的测定方法.
本文件适用于镍铂靶材合金中铂含量的测定，测定范围（质量分数）：1.00%～15.00%.
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.
其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 本文件.
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T17684贵金属及其合金术语 3术语和定义 GB/T17684界定的术语和定义适用于本文件.
4原理 试料用盐酸-硝酸溶解，以钇（Y371.029nm）为内标，于稀盐酸介质中，用电感耦合等离子体原子发 射光谱仪测定，计算铂的质量分数.
5试剂或材料 除非另有说明，分析中仅使用确认为分析纯的试剂和去离子水.
5.1硝酸（p=1.42g/mL).
5.2盐酸(o=1.19 g/mL).
5.3盐酸（19）.
5.4铂标准贮存溶液：称取0.1000g金属铂（n≥99.99%）.置于100mL烧杯中，加入6mL盐酸 （5.2）、2mL硝酸（5.1）置于电热板上，低温加热溶解完全冷却至室温移人100mL容量瓶中.加人 10mL盐酸（5.2），用水稀释至刻度，混匀.此溶液1mL含1.0mg铂.
5.5钇内标溶液：称取1.2700g三氧化二钇（wvo≥99.99%），置于100mL烧杯中，加人30mL盐酸 （5.2）置于电热板上，低温加热溶解完全，冷却至室温，移人500mL容量瓶中，加人50mL盐酸
