ICS 29.045 YS CCS H83 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1655-2023 化学气相沉积硫化锌晶体 Chemical vapor deposition of zinc sulfide crystals 2023-12-20发布 2024-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/T1655-2023 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.
本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员 会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口.
本文件起草单位：山东有研国品辉新材料有限公司、云南驰宏国际储业有限公司、国合通用测试评价 认证股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、厦门万明电子有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、 云南临沧鑫圆储业股份有限公司.
本文件主要起草人：李冬旭、魏乃光、杨建纯、曹波、崔丁方、石红春、赵传星、刘潇涛、应常建、刘红、 朱赞芳、路淑娟、黎建明、于鹏涛、黄景明.
YS/T 1655-2023 化学气相沉积硫化锌晶体 1范围 本文件规定了化学气相沉积硫化锌晶体的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、 运输、贮存及随行文件和订货单内容.
本文件适用于化学气相沉积法（CVD）制备的硫化锌品体（包括标准硫化锌和多光谱硫化锌），透过波 长范围为1μm~14μm.
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款，其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本 文件.
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T6040红外光谱分析方法通则 GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法 JC/T185光学石英玻璃 3术语和定义 本文件中没有需要界定的术语和定义.
4牌号及分类 4.1牌号 化学气相沉积硫化锌品体的表示方法为： CVDZnS 表示硫化锌等级，M表示多光谱硫化锌，S表示标准硫化锋 CVD表示化学气相沉积法 4.2分类 化学气相沉积硫化锌晶体按透射性能分为标准CVD硫化锌和多光谱CVD硫化锌.
5技术要求 5.1光学性能 5.1.1透过率 5.1.1.1温度为20°℃~25C时，标准CVD硫化锌在8μm~10μm光谱范围内的透过率不小于70%； 1
YS/T1655-2023 在2μm~10um光谱范围内的透过率曲线除了6um附近有吸收峰，不应存在其他吸收峰.
标准CVD 硫化锌透过率曲线见图1.
100 90 80- 0 10 长/um 图1标准CVD硫化锌透过率曲线 5.1.1.2温度为20°℃~25C时，多光谱CVD硫化锌在1064nm处的透过率不小于70%，1064nm处 多光谱CVD硫化锌透过率曲线见图2.
在3um~5um光谱范围内的透过率不小于69%，且透过率曲 线平滑无吸收峰；在8μm~10μm光谱范围内的透过率不小于70%.3μm~5μm及8μm~10μm处 多光谱CVD硫化锌透过率曲线见图3.
75 74 %/水 造过 16 70 69 1000 1050 度长/μm 1100 1150 图21064nm处多光谱CVD硫化锌透过率曲线 80 70 50 本 20 波长/μum 10 图33um~5μm及8um~10um处多光谱CVD硫化锌透过率曲线
YS/T 1655-2023 5.1.2折射率 温度为20℃~25℃时化学气相沉积硫化锌晶体的折射率应符合表1的规定.
表1折射率 波长 标准CVD硫化锌折射率 多光谱CVD硫化锌折射率 允许偏差 μm 3.0 2.2576 2.2586 4.0 2.2522 2.2531 5.0 2.2465 2.2475 6.0 2.2398 2.2407 7.0 2.2323 2.2330 ±0.004 8.0 2.2233 2.2241 9.0 2.2126 2.2134 10. 0 2.2004 2.2014 11. 0 2.1866 2.1870 5.1.3折射率不均匀性 多光谱CVD硫化锌的折射率不均匀性（波长0.6328μm处）应小于4×10-.
5.2弯曲强度 5.2.1标准CVD硫化锌的弯曲强度应大于100MPa.
5.2.2多光谱CVD硫化锌的弯曲强度应大于70MPa 5.3尺寸及允许偏差 化学气相沉积硫化锌的尺寸及允许偏差应符合表2的规定.
表2尺寸及允许偏差 单位为毫米 直径或最长边d 允许偏差 厚度： 允许偏差 d30 ±0.1 10 ±0.1 30≤d<150 ±0.5 ±0.5 150≤d≤600 ±1 24 ±1 5.4外观质量 化学气相沉积硫化锌晶体的棱角、边缘和全部表面不应有后续加工难以除去的缺口、缺角、裂纹和空 洞，且缺口、缺角、裂纹尺寸不应超过2mm. 抛光后的标准CVD硫化锌呈淡黄色或橘黄色，抛光后的多 光谱CVD硫化锌呈无色透明. 5.5其他 若对化学气相沉积硫化锌晶体有特殊要求，由供需双方协商确定，并在订货单（或合同）中注明.
