ICS13. 020.40 CCS E 25 T/CCGA 中国工业气体工业协会团体标准 T/CCGA90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解 移除效率的测试方法 Protocol for measuring destruction or removal efficiency (DRE) of point-of-use abatement equipment in pan-semiconductor 2023-12-18发布 2024-01-18实施 中国工业气体工业协会 发布
T/CCGA 90004-2023 目次 前言 1范围.. 2规范性引用文件 3术语和定义 4 试剂和材料 5 设备与仪器.
6 分析步骤 7. 结果计算与表示， 8 质量保证和质量控制 附录A（资料性） 尾气处理设备的分解移除效率（DRE）公式推导和计算方法 附录B（规范性） 检测结果记录
T/CCGA 90004-2023 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.
本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国工业气体工业协会提出并归口.
本文件起草单位：埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国） 有限公司、中国电子气体生产与利用百人会.
本文件主要起草人：朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王慧、夏威律 II
T/CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解 移除效率的测试方法 1范围 本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法.
本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率.
其它 仪器可参考执行.
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.
其中，注日期的引用文件，仅 该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T18867电子工业用气体六氟化硫 GB51401-2019电子工业废气处理工程设计标准 EPA 430-R-10-003电子制造中氟化温室气体消除设备分解移除效率（DRE）的协议（Protocolfor Measuring Destruction or Removal Efficiency (DRE) of Fluorinated Greenhouse Gas Abatement Equipment in Electronics Manufacturing) 3术语和定义 GB51401-2019界定的及以下术语和定义适用于本标准.
3. 1 泛半导体pan-semiconductor 集成电路、液晶光电和太阳能板的统称.
3. 2 尾气处理设备point-of-use abatement（POU） 安装在工艺生产设备附近，并对其排出的尾气进行处理的设备.
主要包括燃烧水洗式、干式吸附式和等 离子体式三类.
3.3 分解移除效率destructionorremovalefficiency 评价工艺尾气是否达到预期处理效果的指标.
3.4 中央废气处理系统centralizedabatomentsystem 位于废气系统的末端，在废气排入大气前对其所含的特定污染因子做最终的消减处理，并达到规定排放 浓度或标准的处理系统.
3.5 工艺尾气processoffgas 泛半导体制程工艺产生的废气.
T/CCGA 90004-2023 3.6 全氟化合物perfluorinated pounds（PFCs） 泛半导体制程工艺使用的具有高全球变暖潜能（GWP）的氯化物，包括全氟化合物和氢氟碳化物（HFCs）.
3.7 挥发性有机物volatileorganicpounds（voCs） 沸点在50~250C之间，温度298.15K时蒸汽压大于等于0.01kPa，或者能够以气态分子的形态排放到空 气中的有机化合物，但不包括甲烷.
3.8 特种废气specialcontaminatedwaste gas 泛半导体制程中化学气相淀积、扩散、外延、离子注入、干法刻蚀等工艺设备散发的含有毒性、腐蚀性、 氧化性、自燃性、可燃性、情性等物质的废气.
分为烷类、全氟化合物和其它废气三种.
3.9 示踪气体tracergas 与工艺尾气混合后不发生变化且不影响尾气处理系统的性能，并在很低的浓度时就能被测出的 气体.
试剂和材料 4.1工艺尾气 常见泛半导体的工艺尾气类型见表1.
表1泛半导体的工艺尾气类型 编号 气体类型 举例 1 酸性废气 S0 、H S、CI 、HC1、NO、NO 2 碱性废气 NH、Na0H 3 特种废气 SiH BH、AsH、NF=、CF、BC1 4 挥发性有机物废气 异丙醇（IPA）、丙酮 4.2氮气 纯度≥99.999%的氮气.
要求按GB/T8979执行.
4.3示踪气体 常用的示踪气体为SF6，纯度≥99.999%.
要求按GB/T18867执行.
5设备与仪器 5.1检测仪器的系统配置 为准确评定尾气处理设备的分解移除效率，使用2台傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）和1台便携式气体检 测仪，检测尾气处理设备进出口的气体浓度.
工艺民气处理系统流程见图1.
