ICS23.160 CCS J 78 T/GVS 团 体 标 准 T/GVS017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备 Continuous optical magnetron sputtering coating equipment 2024-12-24发布 2024-12-24实施 广东省真空学会 发布
T/GVS 017-2024 目次 前言 1范围.. 2规范性引用文件 3术语和定义 4组成 5正常工作条件 6技术要求， 7试验方法 8检验规则 9标志、包装、运输和贮存
T/GVS 017-2024 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.
本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由广东省新兴激光等离子体技术研究院提出.
本文件由广东省真空学会归口.
本文件起草单位：广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离 子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司.
本文件主要起草人：朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏.
本文件为首次发布.
I1
T/GVS 017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备 1范围 本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验 方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存.
本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）的研发、生产、检验和销售.
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成本文件必不可少的条款.
其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本 文件.
GB/T191包装储运图示标志 GB/T2680一2021建筑玻璃可见光透射比、太阳光直接透射比、太阳能总透射比、紫外线透射 比及有关窗玻璃参数的测定 GB/T3797-2016电气控制设备 GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件 GB/T11164-2011真空镀膜设备通用技术条件 GB/T 13306标牌 GB/T13384机电产品包装通用技术条件 GB/T18209.1机械电气安全指示、标志和操作第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求 GB/T33051光学功能薄膜表面硬化薄膜硬化层厚度测定方法 GB/T35076-2018机械安全生产设备安全通则 GB/T36260-2018电子显示用防眩减反射玻璃 GB/T38518柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法 GB50073-2013洁净厂房设计 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件.
3. 1 将材料溅射到工件表面进而沉积形成具有一定光学性能薄膜的连续生产设备，常见有采用立式镀 膜室的连续式设备.
3. 2 极限真空ultimatevacuum 空载的真空室在未通入工艺气体时，逐渐接近、达到并维持稳定的最低压力.
极限真空的单位为帕 (Pa).
3.3 生产节拍productiontakt 设备正常工作时，在设备进口或出口观察，两批玻璃组架进入或出来的最大间隔时间.
该时间段内 包括了输送辊道动作、进出口真空室充放气和翻板阀动作过程.
生产节拍的单位为秒（s）.
3. 4 真空室漏率chamberleakagerate 单个真空室在进出口密闭状态下，达到一定真空度时，由于漏气渗入到真空室内并影响真空室内压 力的气体的流量.
真空室漏率单位为Pa*m/s.
