ICS23.160 CCS J 78 T/STIC 团 体 标 准 T/ST1C 110096-2024 半导体用多级罗茨干式真空泵 Multi-stage roots dry vacuum pumps for semiconductor 2024-01-01发布 2024-01-01实施 上海市检验检测认证协会 发布
T/STIC 110096-2024 目次 前言 1范围. 2规范性引用文件 3术语和定义 4型式、型号与基本参数 4.1型式 4.2型号. 4.3基本参数 5技术要求， 6测量方法.. 6.1测量装置. 6.2测量条件. 6.3抽气速率和极限全压力的测量 6.4消耗功率的测量 6.5外观的检查. 6.6工作温度的测量， 6.7噪声的测量 6.8入口最大允许压力的测量， 6.9电气控制测试 6.10无油测试， 6.11振动测试 6.12漏率测试， 7抽样及判定方法.
7.1抽样方法. 7.2判定方法， 8检验规则. 9标志、包装、运输和贮存 9.1标志， 9.2包装 9.3运输 9.4贮存，
T/ST1C 110096-2024 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
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本文件由上海市检验检测认证协会提出并归口管理.
本文件起草单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技 术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有 限公司、上海市检验检测认证协会.
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本文件首批承诺执行单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯 卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集 团上海有限公司、上海市检验检测认证协会.
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T/STIC 110096-2024 半导体用多级罗茨干式真空泵 1范围 本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样 及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存.
，） 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成本文件必不可少的条款.
其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本 文件.
GB/T191包装储运图示标志 GB/T3163真空技术术语 GB/T6995.4电线电缆识别标志方法第4部分：电气装备电线电缆绝缘线芯识别标志 GB/T6995.5电线电缆识别标志方法第5部分：电力电缆绝缘线芯识别标志 GB/T 13306标牌 GB/T16935.1低压系统内设备的绝缘配合第1部分：原理、要求和试验 GB/T19956.1容积真空泵性能测量方法第1部分：体积流率（抽速）的测量 GB/T19956.2容积真空泵性能测量方法第2部分：极限压力的测量 GB/T21271真空技术真空泵噪声测量 GB/T22360真空泵安全要求 JB/T11237-2011真空技术多级罗茨干式真空泵 3术语和定义 GB/T3163和JB/T11237-2011界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
3.1 极限压力下功耗Ultimatepressure power consumption 泵在正常工作情况下，关闭进气阀门，测试單内趋向最低压力时单位时间中所消耗的能源的数量， 单位为kW.
3. 2 漏率Leakrate 已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量.
采用国际单位制 时，漏率单位为Pam3/s.
3. 3 抽气效率Pumpingefficiency 泵的实际抽气速率与几何抽气速率之比.
4型式、型号与基本参数 4.1型式 泵的结构型式是多级三叶罗茨转子串联在一对真空泵轴上做反向同步旋转运动，转子与泵腔间不接 触，以极小间隙密封气体，多级串联的形式使气体逐级被压缩，可直排大气.
4.2型号
